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pISSN : 1225-1429 / eISSN : 2234-5078

2020 KCI Impact Factor : 0.17
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8 of 8

Optimization of chemical mechanical polishing for bulk AlN single crystal surface

Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
Abbr : J. Korean Cryst. Growth Cryst. Technol.
2018, 28(1), pp.51-56
Publisher : The Korea Association Of Crystal Growth, Inc.
Research Area : Materials Science and Engineering

이정훈 1 박철우 2 박재화 3 Hyo Sang Kang 4 강석현 5 이희애 6 이주형 7 인준형 8 Kang, Seung-Min 9 Kwang Bo Shim 10

1한양대학교
2한양대학교
3한양대학교
4한양대학교
5한양대학교
6한양대학교
7한양대학교
8한양대학교
9한서대학교
10한양대학교

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